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1,、樣品尺寸：≤Φ150,；

2、控溫范圍：室內(nèi)溫度~1200℃,；

3,、升溫速率：100℃/s,；

4、控溫精度：±0.5℃(RT~1000℃) ，±1℃(1000~1200℃),；

5,、溫度均勻性：≤1.5%設(shè)定溫度（石墨托盤）；

6,、退火速率：1200℃→400℃,，裸片是600℃/min（雙石墨盤是130℃/min）。400℃→100℃,，裸片是20℃/min（雙石墨盤是10℃/min）（氮?dú)獯祾撸?/span>

7,、退火溫區(qū)控制：有；

8,、PID自整定：配置,；

9、爐壁溫度監(jiān)測(cè)：有,；

10水冷異常監(jiān)測(cè)：有,；

11、真空度監(jiān)測(cè)：有,。