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1、樣品尺寸：≤Φ100,；

2,、控溫范圍：室內(nèi)溫度~1200℃；

3,、升溫速率：50℃/s,；

4、控溫精度：±0.5℃(RT~1000℃) ,，±1℃(1000~1200℃),；

5、溫度均勻性：≤1.5%設(shè)定溫度（石墨托盤）,；

6,、退火速率：1200℃→400℃，裸片是600℃/min（雙石墨盤是130℃/min）,。400℃→100℃,，裸片是20℃/min（雙石墨盤是10℃/min）（氮?dú)獯祾撸?/span>

7、退火溫區(qū)控制：有,；

8,、PID自整定：配置；

9,、爐壁溫度監(jiān)測：有,；

10、水冷異常監(jiān)測：有,；

11,、真空度監(jiān)測：有。