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1、樣品直徑：Φ≤90mm,；

2,、樣品厚度：≤20mm；

3,、樣品平移：XY移動(dòng)范圍為25mm*25mm,，移動(dòng)精度可達(dá)1um；

4,、掃描范圍：XY最大掃描范圍20um*20um,，Z最大掃描范圍2.5um；

5,、掃描角度：0.6Hz~30Hz,，掃描角度0~360°,，可進(jìn)行任意角度掃描；

6,、掃描速率：支持以1倍速,、2倍速、4倍速,、8倍速,、16倍速；

7,、工作模式：接觸模式AFM,、動(dòng)態(tài)力模式(DAFM)、F-Z力曲線測(cè)量模式,、RMS-Z曲線測(cè)量模式,；

8、減震方式：采用彈簧懸掛式的減震方式,，RMS噪音水平<0.05nm,；

9、電源：220VAC/50Hz,，500W,；

10、機(jī)器重量：120kg,；

11,、機(jī)器尺寸：D480mmx W420mmxH730mm。