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1、測量尺寸：≤120mm；

2,、測量材料：微納半導(dǎo)體,、光學(xué)鍍膜、薄膜光伏,、電極材料等,；

3,、光譜種類：Psi/Delta,、N/C/S,、R等光譜；

4,、光線入射角：固定角,；

5、光譜波長：400-800nm,；

6,、單次測量時間：＜10s；

7,、膜厚重復(fù)精度：優(yōu)于0.01nm,；

8、光斑范圍：2-4mm（大光斑）,；

9,、折射率重復(fù)精度：0.001；

10,、聚焦功能：手動找焦,；

11、電源：220VAC/50Hz,，300W,；

12、機(jī)器重量：150kg,；

13,、機(jī)器尺寸：D320mm× W620mm×H530mm。