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基本參數(shù)

1,、刻蝕尺寸：6吋及以下,；

2、刻蝕材料：單晶硅,、多晶硅,、SiO2,、Si3N4、GaN,、GaAs等,；

3、刻蝕速率：0.01~1μm/min,；

4,、刻蝕距離調(diào)節(jié)：10mm~ 60mm；

5,、操作方式：全自動控制方式,；

6、系統(tǒng)總控：人機(jī)界面及控制程序,；

7,、電源：220VAC/50Hz，10KW,；

8,、機(jī)器重量：1000kg；

9,、機(jī)器尺寸:  D810mm× W2020mm×H1550mm,。

電源及刻蝕反應(yīng)室

1、調(diào)頻電源：13.56MHz,，1.0KW,；

2、反應(yīng)室：雙室,，上蓋自動啟閉,，操作方便,；

3、反應(yīng)室規(guī)格：Φ300′110mm,；

4,、真空度：≤2×10-4 Pa(腔體充分烘烤除氣，去濕后),；

5,、抽氣時(shí)間：系統(tǒng)充干燥 N2解除真空后短時(shí)暴露，大氣壓~ 5×10-3 Pa 時(shí)間≤ 20min,。

真空測量系統(tǒng)及氣體配置

1,、真空計(jì)：數(shù)顯復(fù)合真空計(jì) 21套，測量低真空和高真空,；

2,、供氣：N2、O2 ,、CF4,、CHF3、SF6以及壓縮空氣,，進(jìn)氣壓力 0.4～0.6Mpa,，工藝氣體純度為：99.999﹪

冷卻系統(tǒng)

1、配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng),；

2,、保護(hù)系統(tǒng)：對泵、電極等缺水等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù),。