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基本參數(shù)

1,、刻蝕尺寸：4吋及以下,；

2、刻蝕材料：?jiǎn)尉Ч?、多晶硅?/span>SiO2,、Si3N4,、GaN、GaAs等,；

3,、刻蝕速率：0.2~0.9μm/min；

4,、刻蝕距離調(diào)節(jié)：10mm~ 60mm,；

5、操作方式：半自動(dòng)控制方式,；

6,、系統(tǒng)總控：人機(jī)界面及控制程序；

7,、電源：220VAC/50Hz,，9KW；

8,、機(jī)器重量：600kg,；

9、機(jī)器尺寸:  D810mm× W1520mm×H1550mm,。

電源及刻蝕反應(yīng)室

1,、電源：13.56MHz，0.5KW,；

2,、反應(yīng)室：?jiǎn)问遥仙w啟閉,，操作方便,；

3、反應(yīng)室規(guī)格：Φ300′110mm,；

4,、真空度：≤2×10-4 Pa(腔體充分烘烤除氣，去濕后),；

5,、抽氣時(shí)間：系統(tǒng)充干燥 N2解除真空后短時(shí)暴露,，大氣壓~ 5×10-3 Pa 時(shí)間≤ 30min。

真空測(cè)量系統(tǒng)及氣體配置

1,、真空計(jì)：數(shù)顯復(fù)合真空計(jì) 1套,，測(cè)量低真空和高真空；

2,、供氣接口：N2,、O2 、CF4,、CHF3,、SF6以及壓縮空氣，進(jìn)氣壓力 0.4～0.6Mpa,，工藝氣體純度為：99.999﹪

冷卻系統(tǒng)

1,、配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)；

2,、保護(hù)系統(tǒng)：對(duì)泵,、電極等缺水等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)。