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基本參數(shù)

1,、刻蝕尺寸：6吋及以下,；

2,、刻蝕材料：單晶硅,、多晶硅、SiO2、Si3N4、Al、W,、Mo和金屬氧化物薄膜等；

3,、離子束入射角：0~90°之間任意調(diào)整,；

4、Ar+離子能量范圍：100~1000eV,，連續(xù)可調(diào),；

5、離子束流密度：0~1.0mA/cm2,，連續(xù)可調(diào)

6,、有效離子束直徑：≥Φ150mm；

7,、刻蝕速率：0.02~1.0μm/min,；

8、中和裝置：帶有熱絲結(jié)構(gòu)的電子中和裝置,；

9,、操作方式：工藝過程全自動控制；

10,、系統(tǒng)總控：人機界面及觸摸屏控制程序,；

11,、電 源：220VAC/50Hz,，10KW；

12,、機器重量：700kg,；

13、機器尺寸: D810mm× W1520mm×H1830mm,。

電源及刻蝕反應(yīng)室

1,、電源：直流電源。

2,、反應(yīng)室：上蓋啟閉,，操作方便，單室,；

3,、反應(yīng)室規(guī)格：Φ400′300mm；

4,、真空度：≤2×10-4 Pa(腔體充分烘烤除氣,，去濕后),；

5、抽氣時間：系統(tǒng)充干燥 N2解除真空后短時暴露,，大氣壓~ 5×10-3 Pa 時間≤ 30min,。

真空測量系統(tǒng)及氣體配置

1、真空計：數(shù)顯復(fù)合真空計 1套,，測量低真空和高真空,；

2、供氣：Ar氣體,，進氣壓力0.4～0.6Mpa,，工藝氣體純度為：99.999﹪。

冷卻系統(tǒng)

1,、配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng),；

2、保護系統(tǒng)：對泵,、電極等缺水等異常情況進行報警并執(zhí)行相應(yīng)保護,。