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基本參數(shù)

1,、刻蝕尺寸：4吋及以下,；

2、刻蝕材料：單晶硅,、多晶硅,、SiO2,、Si3N4、Al,、W,、Mo和金屬氧化物薄膜等；

3,、離子束入射角：0~90°之間任意調(diào)整,；

4、Ar+離子能量范圍：150~950eV,，連續(xù)可調(diào),；

5、離子束流密度：0.1~0.9mA/cm2,，連續(xù)可調(diào)

6,、有效離子束直徑：≥Φ100mm；

7,、刻蝕速率：0.05~0.8μm/min,；

8、中和裝置：帶有熱絲結(jié)構(gòu)的電子中和裝置；

9,、操作方式：半自動控制方式,；

10、系統(tǒng)總控：人機界面及控制程序,；

11,、電源：220VAC/50Hz，9KW,；

12,、機器重量：700kg；

13,、機器尺寸: D810mm× W1520mm×H1830mm,。

電源及刻蝕反應(yīng)室

1、電源：直流電源,。

2,、反應(yīng)室：上蓋啟閉，操作方便,，單室,；

3、反應(yīng)室規(guī)格：Φ400′300mm,；

4,、真空度：≤2×10-4 Pa(腔體充分烘烤除氣，去濕后),；

5,、抽氣時間：系統(tǒng)充干燥 N2解除真空后短時暴露，大氣壓~ 5×10-3 Pa 時間≤ 30min,。

真空測量系統(tǒng)及氣體配置

1,、真空計：數(shù)顯復(fù)合真空計 1套，測量低真空和高真空,；

2,、供氣：Ar氣體，進氣壓力0.4～0.6Mpa,，工藝氣體純度為：99.999﹪,。

冷卻系統(tǒng)

1、配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng),；

2,、保護系統(tǒng)：對泵、電極等缺水等異常情況進行報警并執(zhí)行相應(yīng)保護,。