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基本參數(shù)

1,、基片尺寸：6吋及以下,；

2,、樣品臺旋轉(zhuǎn)：自轉(zhuǎn)速度0～10轉(zhuǎn)/分,；

3,、基片升降:樣品到蒸發(fā)源距離可調(diào),，250-350mm,；

4,、操作方式：全自動方式操作；

5,、系統(tǒng)總控：人機界面及控制程序,；

6、電源：220VAC/50Hz,，10KW,；

7、機器重量：530kg,；

8,、機器尺寸：D810mm× W1220mm×H1830mm。

蒸發(fā)源,、電源及鍍膜室

1,、蒸發(fā)源（金屬舟狀）1套；

2,、金屬蒸發(fā)電源：2套,，3KW/套，數(shù)字顯示,，其中一套為切換蒸發(fā)電源,；

3、蒸發(fā)：水冷電極三組,，配有交叉防污染板,，自動擋板， 配兩套數(shù)顯蒸發(fā)電源功率為3KW,；

4,、真空室：圓柱形 304 不銹鋼腔體，正面開門結(jié)構(gòu),；

5,、極限真空：優(yōu)于 6.67*10-5 Pa；

6,、真空系統(tǒng)：采用 FF160/620 分子泵+6-8 升/S 旋片式機械泵組成,；

7、真空測量：一低一高數(shù)顯復(fù)合真空計,，一只電阻規(guī)測量前級預(yù)抽低真空,，一只電離規(guī)測量真空室高真空，全金屬規(guī)管,；

8,、抽氣時間：大氣壓~3*10-4 Pa≤40min；

9、恢復(fù)工作真空時間：≤35分鐘左右（新設(shè)備充干氮氣）,；

10、漏率：關(guān)機12小時真空度≤10Pa,。

膜厚監(jiān)測及保護系統(tǒng)

1,、配備膜厚監(jiān)測儀；

2,、配備1支石英晶振水冷探頭,；

3、設(shè)備保護系統(tǒng)：對泵,、電極等缺水,、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執(zhí)行相應(yīng)保護,；具備完善的邏輯程序互鎖保護系統(tǒng),。