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1,、適用晶圓尺寸：8吋及以下,；

2,、轉(zhuǎn)速分辨率：±1RPM,；

3,、旋轉(zhuǎn)速度：20 rpm ~ 2000rpm(空載) ,；

4,、旋轉(zhuǎn)加速度：20 rpm ~ 8000rpm(空載) ,；

5,、顯影時(shí)間設(shè)定：0 ~ 300s,；

6、時(shí)間設(shè)置精度：0.1s,；

7,、3路管路：1路顯影液，1路純水,，1路氮?dú)猓?/span>

8,、工藝選擇：?jiǎn)尾焦に?/span>/多步工藝可選，內(nèi)置50組可編輯程序,；

9,、電源：220VAC /50Hz，200W,；

10,、機(jī)器外形尺寸：W523mm× L450mm×H320mm。