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1、適用晶圓：8吋及以下；

2,、烘膠面板尺寸：Φ220mm；

3,、溫度范圍：室溫-300℃；

4,、控溫精度：0.1℃,；

5、溫度均勻性：200℃以下≤1%,，200℃~300C≤1.5%,；

6、電源：AC220/50Hz,，1000W,；

7、外形尺寸：W390mm×D300mm×H148mm,。