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1,、適用晶圓：6吋及以下,；

2,、烘膠面板尺寸：Φ170mm,；

3,、溫度范圍：室溫-250℃,；

4,、控溫精度：±0.2℃,；

5,、溫度波動：≤1%,；

6、電源：AC220/50Hz,，780W,；

7、外形尺寸：W382mm×D282mm×H128mm,。