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- 集成電路及微電子制造
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烘膠臺(tái)GRM100
產(chǎn)品型號(hào):GRM100
烘膠臺(tái)
- 詳細(xì)內(nèi)容
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1,、適用晶圓:4吋及以下,;
2、烘膠面板尺寸:Φ120mm,;
3,、烘烤溫度:≤200℃,;
4、控溫精度:±2℃;
5,、控溫形式:采用溫控儀PID調(diào)節(jié),,自動(dòng)測(cè)溫,控溫,;
6,、烘膠板材料:不銹鋼;
7,、電源:AC220/50Hz,,600W;
8,、外形尺寸:W280 mm×H360 mm×D220mm,。
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