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1,、適用晶圓尺寸：8吋及以下,；

2,、勻膠轉(zhuǎn)速范圍：100 轉(zhuǎn)/分 ~ 12000轉(zhuǎn)/分可調(diào),；

3、勻膠時(shí)間范圍：1秒 ~ 3000秒可調(diào),；

4,、轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定度：≤±1%；

5,、膠的不均勻性：≤±1%,；

6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)形式：加減速度可調(diào),，可設(shè)多種程序控制；

7,、機(jī)器控制模塊：4.3寸全彩色觸摸屏顯示,、燈光閃爍、聲光報(bào)警,；

8,、真空輸入要求：0.07MPa,，真空流量≥12L/min；

9,、機(jī)器其他配置：自帶收液瓶,、自帶排風(fēng)設(shè)計(jì)；

10,、電源：AC220V/50Hz,，400W；

11,、機(jī)器外形尺寸：W312mm×H368mm×D355mm,。