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1,、適用晶圓尺寸：6吋及以下,；

2、勻膠轉速范圍：100 轉/分 ~ 9000轉/分可調,；

3,、勻膠時間范圍：1秒 ~ 3000秒可調,；

4,、轉速不穩(wěn)定度：≤±1%；

5,、膠的不均勻性：≤±2%,；

6、轉速調節(jié)形式：加減速度可調,，可設多種程序控制,；

7、機器控制模塊：液晶顯示,、燈光閃爍,、聲光報警；

8,、電源：AC220V/50Hz，120W,；

9,、機器外形尺寸：W320mm×H375mm×D323mm。