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1、適用晶圓尺寸：4吋及以下,；

2,、勻膠轉(zhuǎn)速范圍：400 轉(zhuǎn)/分 ~ 8000轉(zhuǎn)/分；

3,、勻膠時(shí)間范圍：1秒 ~ 3000秒,；

4、轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定度：≤±2%,；

5,、膠的不均勻性：≤±3%；

6,、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)形式：采用變頻電源控制器調(diào)節(jié),；

7、機(jī)器控制模塊：數(shù)碼顯示,，微處理器控制,；

8、電源：AC220V/50Hz,，90W,；

9,、機(jī)器外形尺寸：W278 mm×H358mm×D248mm,。