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1,、尺寸：8英寸圓片,，向下兼容6、4、2英寸

2,、產(chǎn)量：1~ 60 片/批

3,、工藝類型：可滿足干氧氧化、濕氧氧化、氫氧合成氧化,、擴(kuò)散等

4、溫度控制范圍：700℃～1250℃

5,、溫控區(qū)長度：600 mm～800mm

6,、溫控精度：≤±0.5℃（700℃～1250℃）

7、單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：≤±0.5℃/24h（1100℃）,；

8,、爐體升降溫速率：最大升溫速率15℃/分鐘；

9,、氣體管路：流量計(jì)控制工藝氣體流量,，保護(hù)氣體由浮子流量計(jì)控制；

10,、推舟方式：全自動送舟機(jī)構(gòu),；

11、舟數(shù)量：3個(gè),；

12、保護(hù)功能：具有超溫,、斷偶,、熱偶短路、氣體流量偏差報(bào)警和保護(hù)功能,；

13,、工藝控制：工藝過程由工控計(jì)算機(jī)全自動控制，存儲不少于 100條工藝曲線,；

14,、電源：380VAC/50Hz，120KW,；

15,、重量：3500Kg；

16,、機(jī)器外形尺寸：W5000mm×H2300mm×D1300mm,。