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1、尺寸：6英寸圓片，向下兼容4,、2、1英寸,；

2、產(chǎn)量：1~ 20 片/批,；

3,、工藝類型：干氧（O2）→濕氧（H2O蒸汽）→干氧工藝；

4,、溫度控制范圍：500℃～1100℃,；

5、溫控區(qū)長度：200mm,；

6,、溫控精度：≤±1℃，800℃以上≤±1℃（爐管方向）,；

7,、爐體升降溫速率：最大升溫速率12℃/分鐘；

8,、氣體管路：流量計控制工藝氣體流量,，保護(hù)氣體由浮子流量計控制；

9,、推舟方式：采用懸臂桿,，全自動送片機構(gòu)；

10,、溫控方式：具有全自動升降溫及恒溫功能,；

11、保護(hù)功能：具有超溫,、熱短路,、流量偏差、排風(fēng),、冷卻水缺液報警等保護(hù)功能,；

12、工藝控制：工藝過程由工控計算機全自動控制,，存儲不少于 50條工藝曲線；

13,、電源：380VAC/50Hz,，25KW,；

14、重量：800Kg,；

15,、機器外形尺寸：W3000mm×H1700mm×D1000mm。